클린룸 생산라인서 차세대 EUV 살펴봐
"한국기업과 협력해 반도체 혁신 기대"
ASML 회장 "한국과 반도체 연대 강화"
김승민 기자 = 윤석열 대통령은 12일(현지시간) 네덜란드의 반도체 장비 생산 기업 ASML 본사를 방문해 "오늘 이 자리가 한국과 네덜란드의 반도체 동맹이 더욱 굳건해지는 계기가 되기를 바란다"고 밝혔다. 윤 대통령은 이어 외국 정상 최초로 ASML 핵심 시설 '클린룸' 생산라인을 살펴봤다.
네덜란드를 국빈 방문한 윤 대통령은 이날 빌럼-알렉산더르 네덜란드 국왕, 피터 베닝크 ASML 회장과 함께 네덜란드 남동부 벨트호벤에 위치한 ASML 본사를 방문했다.
ASML은 반도체 미세공정을 위한 극자외선(EUV) 노광장비를 생산하는 세계 유일의 기업으로, 이날 방문에는 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장도 동행했다.
윤 대통령은 빌렘-알렉산더르 국왕과 함께 클린룸 생산라인을 찾아 ASML이 새로 개발한 차세대 EUV 장비 생산 현장을 둘러봤다.
이날 세계 최초로 전체 노광장비 모습이 공개된 차세대 EUV 장비는 기존에 비해 해상도가 높기 때문에 선폭(반도체 칩 내 가장 작은 폭)이 좁은 반도체를 보다 쉽게 생산해낼 수 있다고 한다.
윤 대통령은 클린룸 방문에 앞서서는 양국 반도체 기업인 간담회에 참석해 ASML의 반도체 기술 혁신을 평가하고 양국간 반도체 협력 강화 의지를 밝혔다.
윤 대통령은 "ASML이 만들어낸 반도체 산업의 혁신은 인공지능, 5G, 모빌리티 등 4차 산업혁명의 강력한 동력이 되고 있다"며 "한국 기업들과 긴밀히 협력해서 반도체 산업의 혁신과 글로벌 공급망 안정화 노력에 기여해주시길 기대한다"고 운을 뗐다.
이어 "한국은 정부의 '반도체 초강대국 달성 전략'에 따라 삼성전자가 360조원, SK하이닉스가 120조원을 투자해 세계 최대의 반도체 클러스터를 조성하고 있다"고 덧붙였다.
윤 대통령은 양국간 반도체 협력 양해각서(MOU) 내용도 직접 소개했다. 양국은 이날 윤 대통령과 빌럼-알렉산더르 국왕 임석 하에 삼성전자-ASML간 협력, SK하이닉스-ASML간 협력, 정부간 첨단 반도체 아카데미 협력 등 3개 MOU를 체결했다.
윤 대통령은 먼저 "ASML과 삼성은 향후 1조원을 투자해 차세대 반도체 R&D 센터를 한국에 건설하고, ASML과 SK하이닉스는 반도체 생산 과정에서 전력 소비를 획기적으로 줄이고 수소 등 자원을 재활용하는 친환경 공정을 함께 개발하기로 했다"고 설명했다.
이어 "내년 2월 ASML 주도로 한국과 네덜란드의 대학원생과 엔지니어가 함께 참여하는 한-네덜란드 첨단 반도체 아카데미가 개설된다"며 "한국 정부는 이번 협력 프로젝트의 성공을 위해 양국 정부간 직접 소통 채널을 강화하고 필요한 모든 지원을 다할 것"이라고 밝혔다.
베닝크 회장은 "한국에 건설 중인 화성 뉴캠퍼스 및 오늘 한국 기업들과 체결하는 MOU를 통해 한국과의 반도체 연대가 크게 강화되고 있다"고 화답했다.
이어 최근 한국 정부의 고압가스 관련 규제 개선 사례 등 변화가 차세대 EUV 노광장비를 공급할 수 있게 하는 데 큰 도움이 된다며 "정치, 경제, 인력을 아우르는 국가간 협업이 중요하다"고 강조했다.
이재용 삼성전자 회장은 "대표적 혁신의 상징 ASML과 전략적 파트너십을 강화해나가고 있다"고 강조하고 빌럼-알렉산더르 국왕의 방한을 요청했다.
최태원 SK그룹 회장은 차세대 EUV 개발사업, 수소 리사이클링 공정 등 친환경 반도체 제조 분야에서 ASML, IMEC 등과 협력을 강화해나가겠다고 말했다.
ASM의 벤자민 로 회장은 한국 사업의 급성장으로 두번째 공장 건설을 시작했다며 플라즈마 증착 공장과 R&D 센터를 통한 협력을 지속 확대하겠다고 말했다.
IMEC의 루크 반 덴 호브 회장, 삼성·SK와 파트너십 확대를 강력 희망한다고 했고, 독일 ZEISS사의 안드레아스 페처 CEO도 한국과 협력 관계를 자동차·의료 분야로 확장하고 싶다고 밝혔다.
윤 대통령과 빌럼-알렉산더르 국왕은 '2023년 12월12일 네덜란드 벨트호벤 ASML 본사 방문 기념'이라고 한글과 영문으로 적힌 웨이퍼에 서명했다. ASML은 이 웨이퍼를 클린룸 생산라인에 전시할 예정이다.
이날 간담회에는 ASML 피터 베닝크 회장 외에 크리스토프 푸케 최고사업책임자, 로제 다센 최고재무책임자, 써니 스탈네이커 수석부사장과 안드레아스 페처 ZEISS 회장, 벤자민 로 ASM 회장, 루크 반 덴 호브 IMEC 회장 등 반도체 기업인들이 다수 참석했다.
정부 측에서도 제프리 반 리우웬 국제통상개발협력 장관, 이나 아데마 북부 브라반트 주지사, 레온틴 반 덴 베르흐 국왕 전속부관, 디리크 얀 브라우버 외교부 부국장, 에릭 페르발 국왕 부비서실장 등이 자리했다.
우리 측에서는 반도체 업계에서 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장과 경계현 삼성전자 사장 등이 참석했다. 정부에서도 박진 외교부 장관, 조태용 국가안보실장, 박춘섭 경제수석, 안덕근 산업통상자원부 통상교섭본부장, 김태효 안보실 1차장, 박성택 산업정책비서관 등이 배석했다.
